Титан сплава Gr1 Gr2 Gr5 TiAl брызгая цель для покрытия PVD

Титан сплава титана Gr1 Gr2 Gr5 TiAl брызгая цель для покрытия PVD

материал цели 1.The

Материал цели материал цели бомбардированный высокоскоростными запряженными частицами. Металлы, сплавы, окиси, etc. заменяют различные материалы цели (как алюминий, медь, нержавеющая сталь, титан, цели никеля, etc.), вас могут получить различные системы фильма (как фильм сверх-трудных, износоустойчивых, анти--корозии сплава, etc.).

(1) цели металла: цель никеля, Ni, цель титана, ti, цель цинка, Zn, цель хромия, Cr, цель магния, Mg, цель ниобия, N.B., цель олова, Sn, алюминиевая цель, Al, цель индия, внутри, цель утюга, Fe, цель циркония алюминиевая, ZrAl, цель титана алюминиевая, TiAl, цель циркония, Zr, алюминиевая цель кремния, AlSi, цель кремния, Si, медный Cu цели, цель t тантала, a, цель германия, Ge, серебряная цель, Ag, цель кобальта, Co, цель золота, Au, цель гадолиния, Gd, цель лантана, Ла, цель иттрия, Y, цель церия, Ce, цель вольфрама, w, цель нержавеющей стали, цель никел-хромия, NiCr, цель гафния, Hf, цель молибдена, Mo, цель утюг-никеля, FeNi, цель вольфрама, w, etc.

(2) керамические цели: Цель ITO, цель окиси магния, цель железной окалины, цель нитрида кремния, цель кремниевого карбида, цель нитрида титана, цель окиси хромия, цель окиси цинка, цель сульфида цинка, цель двуокиси кремния, одна цель окиси кремния, цель окиси церия, цель двуокиси циркония, цель пентоксида ниобия, цель двуокиси титана, цель двуокиси циркония, цель двуокиси гафния, цель diboride титана, цель diboride циркония, цель триокиси вольфрама, цель алюминиевой окиси, окись тантала, цель пентоксида ниобия, цель фторида магния, цель фторида иттрия, цель селенида цинка, цель нитрида алюминия, цель нитрида кремния, цель азотистого бора, цель нитрида титана, кремний цель карбида, цель ниобата лития, цель титаната празеодима, цель титаната бария, цель титаната лантана, цель окиси никеля, брызгая цель, etc.

2. Основные требования производительности цели

(1) очищенность

Очищенность один из основных показателей эффективности цели, потому что очищенность цели имеет большее влияние на представлении фильма. Однако, в практических применениях, требования к очищенности материалов цели также другие. Например, с быстрым развитием индустрии микроэлектроники, размер кремниевых пластин рос от 6", 8" до 12", и связывая проволокой ширина была уменьшена от 0.5um к 0.25um, 0.18um или даже 0.13um, предыдущая очищенность цели 99,995% может выполнять технические требования 0.35umIC, и подготовка линий 0.18um требует 99,999% или даже 99,9999% для очищенности цели.

(2) содержание примеси

Примеси в твердом теле цели и кислороде и водяном паре в порах основные источники загрязнения для депозированного фильма. Различные цели имеют различные требования для различного содержания примеси. Например, чистый алюминий и цели алюминиевого сплава используемые в индустрии полупроводника имеют особенные требования для содержания щелочного металла и содержания радиоактивного элемента.

(3) плотность

Уменьшить поры в твердых телах цели и улучшить представление брызганного фильма, необходима, что имеет цель обычно более высокую плотность. Плотность цели не только влияет на тариф брызгать, но также влияет на электрические и оптически свойства фильма. Высокий плотность цели, лучший представление фильма. К тому же, увеличение плотности и прочности цели позволяет цели лучше выдержать термальный стресс во время брызгать. Плотность также один из индикаторов ключевой производительности цели.

(4) размер зерна и распределение размера зерна

Материал цели обычно поликристаллический, и размер зерна может находиться заказанн микронов к миллиметрам. Для такого же материала цели, тариф брызгать цели с точными зернами более быстр чем эта из цели с грубыми зернами; толщина фильма депозированного путем брызгать цель с небольшой разницей в размере зерна (однородном распределении) более равномерна.

3. Материал

(1) чистый титан: GR1 GR2

(2) сплав титана: Титан Gr5, титан алюминиевое TiAl, никель TiNi титана, хромий TiCr титана, цирконий TiZr титана, медный титан TiCu etc.

(3) другого материального: Цирконий брызгая цели, покрывает хромом брызгать цели, вольфрам брызгая цели, медные цели etc брызгать.

4. Цель

Оно широко использовано в декоративных покрытиях, износоустойчивых покрытиях, CD и VCDs в электронной промышленности, так же, как различных покрытиях магнитного диска.

фильмы Вольфрам-титана (W-ti) и фильмы сплава вольфрам-титана (W-ti) основанные на фильмы жаростойкого сплава с серией незаменимых превосходных свойств. Вольфрам имеет свойства как высокий коэффициент точки плавления, высокопрочных и низких теплового расширения. С ti сплав имеет низкий коэффициент сопротивления, хорошую термическую стабильность и сопротивление оксидации. Как различные приборы требуйте проводки металла которая играет проводную роль, как Al, Cu, и Ag широко был использован и был исследован. Однако, связывая проволокой металл сам легко окислен, реагирует с окружающей окружающей средой, и имеет плохое прилипание к слою диэлектрика. Легко отразить в материалы субстрата приборов как Si и SiO2, и оно сформирует металл и Si на более низкой температуре. Смеси, которые действуют как примеси, значительно ухудшают представление прибора. Сплав W-ti легок быть использованным как связывая проволокой граница диффузии должная к стабилизированным термомеханикомагнитным свойствам, низкой подвижности электрона, высокой коррозионной устойчивости и химической стойкости, особенно соответствующей для пользы в сильнотоковых и высокотемпературных окружающих средах.

Детальные изображения

Фабрика

Пакет & доставка:

Создайте программу-оболочку материал цели ti с хлопком жемчуга и положите его в деревянную коробку. Наш разумный упаковывая метод может избежать материалов цели от вступать в противоречия друг с другом во время транспорта, и может также предотвратить удар внешних товаров по продукту, и обеспечивает что продукт поставлен после целостности доставки.

---1. Загерметизированная упаковка, тогда положила в коробку cas или стандартный стандартный случай переклейки.

---исключительная изготовленная на заказ коробка 2.Using с логотипом клиента, каждой индивидуальной упаковкой, для того чтобы помочь прямым связям с розничной торговлей покупателей.

---Признавайте требование клиента

Убеждайтесь что каждый пакет сделанен на заказ для you.ensure когда вы получаете товары не не повредили.