Цели для распыливания металла Gr1 Gr2 Gr5 Titanium Sputtering Silver Sputtering Target Для машины для вакуумного покрытия ПВД

Цели для распыливания металла Gr1 Gr2 Gr5 Titanium Sputtering Silver Sputtering Target Для машины для вакуумного покрытия ПВД

Подробная информация о продукте:

Степень: Gr1 Gr2 Gr5 Титан,TiAl, TiCr, TiCu,TiSi,Mo,Cr и т.д. по запросу клиента

Размер: 60/65/70/80/85/90/95/100 ((D)/200/300/400×20/30/32/35/40/42/45/50 ((T) Или по запросу клиента

Поверхность: яркая поверхность

Применение: промышленность покрытия, промышленность вакуумного покрытия

Химические требования:

Наименование продукта: Титановое распыливание целей

Материал: Чистый титан: GR1 GR2

Чистота >= 99,6%

Применение: оборудование, декорация, инструменты, керамика, гольф и другие отрасли покрытия.

Размер:

Цель круглого распыливания: Φ100×40, Φ95×45, Φ80×40, Φ90×40, Φ85×35 и другие конкретные размеры.

Цель распыливания труб: Φ70×7×L900--2000mm, Φ89.4mmX7.62mmX1728mm, Φ89.4mmX15mmX1728mm, Φ80mmX10mmX1728mm и другие конкретные размеры.

Цель распыливания пластины: T6-40 × W60 - 800 × L600 - 2000 мм и другие конкретные размеры.

Мы можем настроить цели сплава в разных пропорциях в соответствии с потребностями клиента

Цели для титановых распылителей являются важнейшими материалами, используемыми в различных передовых производственных процессах, особенно в технологиях отложения тонкой пленки, таких как распыливание.Эти цели широко используются в производстве покрытий для различных примененийВот подробный обзор этих материалов, их применения и спецификации.

1Что такое титановая цель?

Цель распылителя - это материал, используемый в распылительном отложении, методе отложения тонкой пленки.Целевой материал бомбардируется энергетическими ионами (обычно из плазмы), в результате чего атомы выбрасываются (распыляются) и откладываются на субстратТитановые плитки специально используются для отложения тонких титановых пленок на различные поверхности.обеспечивает полезные свойства, такие как коррозионная стойкость, стойкость к износу и повышенная долговечность.

2Типы титановых пультов

Существует несколько вариантов титановых целей, каждый из которых предлагает уникальные свойства и применения:

• Цели для титановых (ти) спютеров:
  Чистые титановые цели (Gr1, Gr2, Gr5) широко используются для отложения титановых пленок.прочные покрытия с отличной коррозионной стойкостью.

• Цели для титано-алюминиевых (TiAl) плит:
  Цели для распылителей TiAl - это сочетание титана и алюминия.

• Цели для титано-хромных (TiCr) спютеров:
  Цели TiCr полезны для отложения пленок с повышенной твердостью и износостойкостью.

• Цели для титано-медных (TiCu) плит:
  Медь обеспечивает высокую электрическую и теплопроводность.что делает эти цели идеальными для микроэлектроники и тонкопленочных транзисторов.

• Цели для титано-кремниевого (TiSi) распылителя:
  Цели для распыливания TiSi используются для производства пленок со специфической тепловой стабильностью и химической устойчивостью, обычно используемых в полупроводниковых устройствах, микроэлектронных компонентах и оптических покрытиях.

• Цели циркониевого (Zr) распылителя:
  Цели циркониевых распылителей часто используются в приложениях, требующих высокой коррозионной стойкости, окислительной стойкости и износостойкости.и оптических покрытий.

• Цели для распылителей хрома (Cr):
  Цели распылителей используются для нанесения твердых, износостойких покрытий и для декоративной отделки поверхностей.

• Цели для полировки молибдена (Мо):
  Цели для распыливания молибдена обеспечивают высокотемпературную стабильность и идеально подходят для применения в электронике, фотоэлектрике и оптических покрытиях.

3. Материальные классы титановых целей для распылителей

• Класс 1 (Gr1): коммерчески чистый титан с отличной коррозионной стойкостью, но более низкой прочностью.Подходит для применений, требующих высокой коррозионной стойкости, но не требующих высокой механической прочности, такие как химическое оборудование и медицинские имплантаты.

• 2 класс (Gr2): наиболее широко используемый коммерчески чистый титановый класс, предлагающий баланс прочности и коррозионной устойчивости.

• Степень 5 (Gr5): известный как Ti-6Al-4V, этот титановый сплав сочетает 6% алюминия и 4% ванадия для повышения прочности.и высокоэффективные покрытия.

4. Общие размеры титановых пультов

Цели для титановых распылителей имеют различные стандартные размеры в зависимости от конкретного применения и требований к системе осаждения.

• Φ100*40 мм
• Φ98*40 мм
• Φ95*45 мм
• Φ90*40 мм
• Φ85*35 мм
• Φ65*40 мм

В дополнение к этим стандартным размерам, цели титановых распылителей можно настроить для удовлетворения конкретных требований клиентов, будь то на основе конкретных размеров или композиций материалов.

5. Целевые требования

Ключевые требования к титановым пультам включают:

• Высокая чистота: высокая чистота необходима для обеспечения того, чтобы отложенная пленка была свободна от примесей, которые могут повлиять на ее свойства или производительность.

• Единообразные кристаллические зерна: цель должна иметь единую кристаллическую структуру, что важно для последовательного распыления и осаждения равномерной тонкой пленки.

• Хорошая компактность: цель должна иметь плотную, хорошо сформированную структуру, чтобы обеспечить равномерное и эффективное распыление.

• Низкое загрязнение: Цель не должна содержать примесей, которые могут загрязнить процесс осаждения, что имеет решающее значение для высокоточных приложений, таких как полупроводники и наноматериалы.

6Применение титановых целей

Титановые плитные цели используются в различных передовых производственных процессах.

• Электроника: пленки из титана используются для проводящих слоев, изоляционных пленок и магнитных покрытий в электронных устройствах, таких как смартфоны, дисплеи и тонкопленочные транзисторы.

• Полупроводники: Титан и его сплавы используются в производстве полупроводниковых устройств для соединений, конденсаторов и других важных компонентов.

• Аэрокосмическая промышленность: Титановые пленки применяются к компонентам в аэрокосмической и военной промышленности, где существенны высокое соотношение прочности и веса, коррозионная стойкость и износостойкость.

• Оптические покрытия: Титановые плитные цели используются для отложения тонких пленок для оптических покрытий (например, антиотражательных пленок, зеркал и оптических фильтров).

• Наноматериалы: Титановые пленки используются при создании наноматериалов со специфическими свойствами для катализа, солнечных элементов, электродов батареи и применения нанотрубок.

• Медицинские устройства: титановые пленки с распылителем используются в биомедицинских приложениях, особенно для создания биосовместимых покрытий на имплантатах и хирургических инструментах.

Химические требования

Материал:

1) Цель для сплава Ти/Аль (67:33,50:50%)

2) Целевая смесь W/Ti (90:10 wt%),

3) Цель Ни/В сплава (93:7, в массе%)

4) Цель для сплава Ni/Cr (80:20, 70:30, в массе %

5) Цель для сплава Al/Cr (70:30,50:50%)

6) Цель для сплава Nb/Zr (97:3,90:10 wt%)

7) Цель для сплава Si/Al (90:10, 95:5, 98:2, 70:30, в массе%)

8) Цель сплава Zn/Al

9) Цель высокой чистоты хрома (99,95%, 99,995%)

10) Цель для сплава Al/Cr (70:30, 50:50, 67:33, в%)

11) Цель для сплава Ni/Cu (70:30, 80:20, в массе%)

12) Цель для сплавов А/НД (98:2 wt%)

13) Цель для сплава Mo/Nb (90:10, в массе%)

14) Целевая смесь TiAlSi (Ti/Al/Si=30/60/10, 33/67, 40/50/10,wt% и в%)

15) Целевая смесь CrAlSi (Cr/Al/Si=30/60/10,wt% и в%)

Понимание титановых классов

Титан классифицируется на различные классы в зависимости от его состава и свойств.Класс 2 (Gr2) также является коммерчески чистым, но с немного более высокой прочностью, что делает его подходящим для более широкого спектра применений. класс 5 (Gr5), также известный как Ti-6Al-4V, является сплавом, содержащим алюминий и ванадий, предлагающий превосходное соотношение прочности и веса,что делает его идеальным для приложений, требующих высокой производительности под давлением.

Сплавы TiAl, которые сочетают титан и алюминий, обеспечивают повышенную твердость и тепловую устойчивость.Это делает их особенно ценными для покрытий, которые требуют отличной износостойкости и производительности при повышенных температурахУникальные свойства этих титановых сортов и сплавов делают их благоприятным выбором для различных применений PVD.когда качество покрытия напрямую влияет на производительность конечного продукта.

Роль целей распыливания в ПВД-покрытии

Цели для распыливания - это материалы, которые бомбардируются заряженными частицами во время процесса покрытия ПВД.атомы выбрасываются с его поверхности и оседают на субстратеВыбор целевого материала напрямую влияет на свойства полученной пленки, что позволяет настраивать покрытия для удовлетворения конкретных требований.Выбор различных целевых материалов, такие как сплавы алюминия, меди или титана, производители могут производить пленки с различными характеристиками, включая сверхжесткость, износостойкость и антикоррозионные свойства.

В случае титановых целей для распыливания особенно полезна способность производить пленки с превосходной адгезией, низким трением и высокой твердостью.Эти свойства имеют решающее значение для применения в таких отраслях, как аэрокосмическая промышленность, автомобильной и медицинской технологий, где компоненты подвергаются экстремальным условиям и должны сохранять целостность с течением времени.производители могут получить покрытия, которые повышают производительность и долговечность критических компонентов.

Понимание целей распыливания

Спуттинг - это метод отложения, используемый для создания тонких пленок на различных подложках.которые выбрасывают атомы с поверхности целиЭти выброшенные атомы затем откладываются на субстрат, образуя тонкую пленку.В медицинских целях применяют распылительную обработку из-за ее способности производить однородное покрытие с точным контролем над толщиной и составом.

Металлические цели, включая титан, особенно ценны в медицинском секторе из-за их благоприятных механических свойств, коррозионной устойчивости и биосовместимости.широко используется для медицинских применений из-за его соотношения прочности и веса и способности плавно интегрироваться с человеческой тканью.

Значение титана в медицинских приложениях

Титан является исключительным материалом в области медицины, прежде всего из-за его биосовместимости.что делает его идеальным для долгосрочных имплантатов, таких как ортопедические протезы и зубные принадлежностиКроме того, коррозионная стойкость титана гарантирует, что он сохраняет свою целостность в суровых условиях, часто встречающихся в человеческом теле.

При использовании в качестве цели для распыливания титан можно настроить для удовлетворения конкретных требований к различным медицинским устройствам.структура зерна, и компактность целевого материала, что напрямую влияет на свойства отложенных пленок.

Применение целей для распыливания в медицинской промышленности

Специализированные цели для распыливания титана используются в различных медицинских приложениях, включая:

• Ортопедические имплантаты: Титановые покрытия улучшают поверхностные свойства ортопедических устройств, улучшая биосовместимость и уменьшая износ.Это важно для имплантатов, которые выдерживают значительные механические нагрузки.

• Зубные имплантаты: Покрытия титана улучшают остеоинтеграцию зубных имплантатов, способствуя лучшему сцеплению с окружающей костной тканью.

• Хирургические инструменты: покрытия, применяемые с помощью распыливания, могут повысить твердость и коррозионную устойчивость хирургических инструментов.продление их срока службы и поддержание их производительности через повторные циклы стерилизации.

• Системы доставки лекарств: инновационные методы распыливания позволяют разработать ультратонкие пленки, которые могут облегчить контролируемое высвобождение лекарств, улучшая эффективность лечения.

Титан для медицинского применения:

Титан, особенно 1-го и 2-го классов, высоко ценится в медицинской и биомедицинской областях за свою биосовместимость, прочность и легкие характеристики.Он обычно используется в медицинских изделиях, потому что он не вреден для организма и не вызывает аллергических реакций..

Основные медицинские применения титана:

1. Ортопедические имплантаты: Титан обычно используется в костных винтах, пластинах, замены суставов и спинных имплантатах, потому что он имитирует свойства кости.
2. Зубные имплантаты: биосовместимость и прочность титана делают его идеальным выбором для зубных имплантатов, которые требуют высокой долговечности и устойчивости к коррозии.
3. Медицинские инструменты: из-за своей коррозионной стойкости хирургические инструменты, иглы, скальпели и другие медицинские инструменты часто изготавливаются из титана или титановых сплавов.
4. Протезы: Титан используется в производстве протезных конечностей и имплантатов из-за его сочетания легкого веса и прочности.
5. Сердечно-сосудистые устройства: Титан используется в производстве каркасов кардиостимуляторов, стентов и клапанов из-за его нереактивного характера в организме человека.
6. Изделия с устойчивым к износу покрытием: Титановые цели для распыливания могут быть использованы для отложения тонких покрытий на медицинские изделия для повышения устойчивости к износу, снижения трения и улучшения биосовместимости.

Титановые сорта:

Заключение:

Цели для распыливания титановых сплавов, включая сплавы TiAl, являются универсальными материалами, широко используемыми для покрытия в отраслях промышленности от аэрокосмической до электроники и биомедицины.Эти материалы обладают исключительными свойствами, такими как прочность, коррозионная стойкость, биосовместимость и износостойкость, что делает их идеальными для требовательных приложений, требующих прочных, высокопроизводительных тонких пленок.При выборе цели для распыливания титанаДля достижения оптимальных результатов в процессе распыливания необходимо учитывать такие факторы, как состав сплава, чистота и геометрия цели.