Титан сплава Gr1 Gr2 Gr5 TiAl брызгая цель для покрытия PVD

Gr1 Gr2 Gr5 TiAl титановый сплав Titanium Sputtering Target Для ПВД покрытия

- Что?

1. Целевой материал

Целевым материалом является целевой материал, бомбардированный высокоскоростными заряженными частицами.из нержавеющей стали, титановые, никелевые цели и т. д.), можно получить различные пленки (например, сверхжесткие, износостойкие, антикоррозионные пленки из сплава и т. д.).

(1) Металлические цели: цель никеля, Ни, цель титана, Ти, цель цинка, Zn, цель хрома, Cr, цель магния, Mg, цель ниобия, Nb, цель олова, Sn, цель алюминия, Al, цель индия, In,Железная мишень, Fe, циркониевая алюминиевая мишень, ZrAl, титановая алюминиевая мишень, TiAl, циркониевая мишень, Zr, алюминиевая цел кремния, AlSi, цел кремния, Si, медная цел Cu, цел танталума T, a,Цель германия, Ge, серебряная мишень, Ag, кобальт мишень, Co, золото мишень, Au, гадолиний мишень, Gd, лантан мишень, La, иттрий мишень, Y, церий мишень, Ce, вольфрам мишень, w, нержавеющая сталь мишень,Никель-хромная мишень, NiCr, гафний Цель, Hf, молибден Цель, Mo, железо-никель Цель, FeNi, вольфрам Цель, W и т.д.

(2) Цели керамики: Цель ITO, Цель оксида магния, Цель оксида железа, Цель нитрида кремния, Цель карбида кремния, Цель нитрида титана, Цель оксида хрома, Цель оксида цинка,Цель сульфида цинкаЦель диоксида кремния, одна цель оксида кремния, цель оксида церия, цель диоксида циркония, цель пентаксида ниобия, цель диоксида титана, цель диоксида циркония, цель диоксида гафния,цель диборида титанаЦель диборида циркония, цель триоксида вольфрама, цель оксида алюминия, оксида тантала, цель пентаксида ниобия, цель фторида магния, цель фторида итрия, цель селеноида цинка.цель нитрида алюминияЦель для нитрида кремния, цель для нитрида бора, цель для нитрида титана, цель для карбида кремния, цель для ниобата лития, цель для титаната празеодима, цель для титаната бария,Цель титаната лантана, цель для оксида никеля, цель для распыливания и т. д.

2Основные требования к результатам

(1) Чистота

Чистота является одним из основных показателей производительности цели, потому что чистота цели оказывает большое влияние на производительность пленки.требования к чистоте целевых материалов также различны.Например, с быстрым развитием микроэлектронной промышленности размер кремниевых пластин увеличился с 6 " до 12 ", а ширина проводки сократилась с 0,5 мм до 0,25 мм.18ум или даже 0.13um, предыдущая целевая чистота 99,995% может соответствовать техническим требованиям 0,35umIC, а подготовка линий 0,18um требует 99,999% или даже 99,9999% для чистоты цели.

(2) Содержание примеси

Нечистоты в целевом твердом веществе и кислород и водяной пар в порах являются основными источниками загрязнения для отложенной пленки.Различные цели имеют различные требования к содержанию различных примесиНапример, цели из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемые в полупроводниковой промышленности, имеют особые требования к содержанию щелочных металлов и содержанию радиоактивных элементов.

(3) Плотность

Для уменьшения пор в твердых веществах цели и улучшения эффективности распыляемой пленки обычно требуется, чтобы цель имела более высокую плотность.Плотность цели влияет не только на скорость распыленияЧем выше плотность цели, тем лучше производительность пленки.увеличение плотности и прочности цели позволяет цели лучше выдерживать тепловое напряжение во время распыливанияПлотность также является одним из ключевых показателей эффективности цели.

(4) Размер зерна и распределение его размеров

Целевой материал обычно поликристаллический, и размер зерна может быть порядка микронов до миллиметров.скорость распыления цели с мелкими зернами быстрее, чем у цели с грубыми зернами.; толщина пленки, откладываемой путем распыливания цели с небольшой разницей в размерах зерен (равномерное распределение) более равномерна.

3. Материал

(1)Чистый титан: GR1 GR2

(2) Сплав титана: титан Gr5, титан алюминий TiAl, титан никель TiNi, титан хром TiCr, титан цирконий TiZr, медь титан TiCu и т.д.

(3)Другие материалы: циркониевые цели для распыливания, хромовые цели для распыливания, вольфрамовые цели для распыливания, медные цели для распыливания и т.д.

4Цель.

Широко используется в декоративных покрытиях, износостойких покрытиях, компакт-дисках и VCD в электронной промышленности, а также различных покрытиях магнитных дисков.

Пленки из вольфрама-титана (W-Ti) и пленки из сплавов на основе вольфрама-титана (W-Ti) представляют собой высокотемпературные пленки из сплавов с рядом незаменимых отличных свойств.Вольфрам имеет такие свойства, как высокая температура плавления, высокая прочность и низкий коэффициент теплового расширения.Такие различные устройства требуют металлических проводов, которые играют проводную рольОднако сам металл проводки легко окисляется, реагирует с окружающей средой,и плохо сцепляется с диэлектрическим слоемОн легко диффузируется в материалы подложки таких устройств, как Si и SiO2, и он будет формировать металл и Si при более низкой температуре.значительно ухудшает работу устройства. W-Ti сплав легко применяется в качестве барьера для диффузии проводов из-за стабильных термомеханических свойств, низкой мобильности электронов, высокой коррозионной стойкости и химической стабильности,особенно подходит для использования в условиях высокого тока и высокой температуры .

Подробные изображения

Фабрика

Пакет и доставка:

Опаковать материал с жемчужной ватой и поместить его в деревянную коробку.и может также предотвратить воздействие внешних товаров на продукт, и обеспечить, чтобы продукт был доставлен после доставки.

---1.Запечатанная упаковка, затем помещенная в картонный ящик или стандартный стандартный фанера.

---2.Использование эксклюзивной картонной упаковки с логотипом клиента, каждая отдельная упаковка, чтобы помочь покупателям напрямую продавать.

--- Принять требования клиента

Убедитесь, что каждая упаковка сделана по вашему вкусу.Убедитесь, что товар не поврежден.